测试项目：

本实验室可进行八寸、十二寸晶圆表面金属元素分析测试，可通过VPD-ICP-MS和手摇法测定晶圆表面的Li、Na、Mg、Al、K、Ca、Ti、V、Cr、Mn、Fe、Co、Ni、Cu、Zn、Ga、Ge、As、Sr、Zr、Nb、Mo、Cd  In、Sn、Cs、Ba、Ta、W、Pb等30种金属元素含量。对于晶圆特定区域（或正反面）或亲水性的第三代半导体晶圆都可以进行元素评估。

检出能力

对关注的各个元素，检出能力可以覆盖从常见的八寸晶圆E10的要求到十二寸晶圆E7的需求。

VPD-ICP-MS/MS的分析过程：

1.气相分解阶段

在晶圆表面上通过喷雾器喷洒的HF(49%)去除晶圆表面的氧化硅层。

2.扫描收集阶段

利用喷嘴通过扫描溶液对整个晶圆表面或特定区域进行扫描。

3.分析阶段

将扫描液引入ICP-MS/MS进行分析，测得各个元素浓度，进而算出晶圆表面元素密度。